Precision RF Pulse Sensors 7037類別:半導(dǎo)體制程射頻功率量測(cè)系統(tǒng)

簡(jiǎn)介:7037系列RF脈沖功率傳感器擁有0.5%的測(cè)是精度，它為實(shí)驗(yàn)室和半導(dǎo)體Fab測(cè)試帶來(lái)驚人的可追溯精度，在校準(zhǔn)的頻率下，精度為0.5%6，可用于測(cè)是RF脈沖波形內(nèi)的門(mén)控功率。

7037系列

適用于半導(dǎo)體應(yīng)用的精度為0.5%的精密脈沖功率傳感器精-湛的準(zhǔn)確性!

7037系列RF脈沖功率傳感器為實(shí)驗(yàn)室和半導(dǎo)體fab環(huán)境帶來(lái)驚人的可追溯精度。旨在為研發(fā)和工藝工程師提供易用性和可靠的數(shù)據(jù)在校準(zhǔn)的頻率下，這些傳感器的精度為0.5%，可用于測(cè)量RF脈沖波形內(nèi)的門(mén)控功率。校準(zhǔn)可追溯到美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)，因此您可以對(duì)這些傳感器提供的測(cè)量的質(zhì)量和準(zhǔn)確性充滿信心。

產(chǎn)品特點(diǎn)

時(shí)域顯示

多電平脈沖內(nèi)多達(dá)4個(gè)狀態(tài)的平均功率測(cè)量

在校準(zhǔn)頻率下，在整個(gè)動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)±0.5%的功率測(cè)量精度，

NIST可追溯校準(zhǔn)

諧波濾波

外部同步輸入

射頻互鎖(可選)

可通過(guò)SCPI命令集編程

優(yōu)點(diǎn):

通過(guò)射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)和驗(yàn)證，這些高精度傳感器使人們對(duì)射頻發(fā)生器的輸出充滿信心。使用VPM3-MSP軟件記錄和分析來(lái)自實(shí)驗(yàn)配方的RF功率數(shù)據(jù)，以簡(jiǎn)化流程開(kāi)發(fā)。現(xiàn)場(chǎng)過(guò)程監(jiān)視允許在運(yùn)行時(shí)實(shí)時(shí)監(jiān)視過(guò)程以檢測(cè)異常。RF脈沖波形的時(shí)域分析可以更仔細(xì)地觀察高功率RF脈沖